氦质谱检漏法是运用氦质谱检漏仪的氦分压力测量基本原理，完成被检件的氦泄露量精确测量。当被检件突面上存有漏孔时，示漏汽体氦气以及它成份的汽体均会从漏孔泄出，泄露出去的空气进到氦质谱检漏仪后，因为氦质谱检漏仪的可选择性鉴别工作能力，仅得出汽体中的氦气分工作压力数据信号值。在得到氦气数据信号值的根基上，根据规范漏孔核对的办法就可以得到漏孔对氦泄露量。

依据测漏全过程中的示漏汽体存储部位与被检件的关联不一样，能够将氦质谱检漏法分成真空法、正压力法、真空工作压力法和背压式法，下边汇总了这四种氦质谱检漏法的检验基本原理、优点和缺点及检验的规范。

选用真空法测漏时，必须 运用輔助真空泵或测漏仪对被检产品內部密封性室抽真空，选用氦罩或煤气发生炉的办法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气便会根据漏孔进到被检产品內部，再进到氦质谱检漏仪，进而完成被检产品泄露量精确测量。依照施漏汽体方式的不一样，又可以将真空法分成真空喷吹法和真空氦罩法。在其中真空喷吹法选用喷漆枪的形式向被检产品外表面煤气发生炉氦气，能够完成漏孔的精准定位; 真空氦罩法选用有一定密闭式作用的氦罩将被检产品所有 罩起來，在罩内充斥着一定浓度值的氦气，能够完成被检产品总漏率的精确测量。

真空法的特点是检验敏感度高，能够 精准定位，能完成大器皿或比较复杂构造产品的测漏。

真空法的不足之处是只有完成一个大气压差的漏率检验，不可以确切体现带压被检产品的真正泄露情况。

真空法的质量标准具体有QJ3123-2000《氦质谱分析真空测漏方式》、GB /T 15823-2009《氦泄漏检验》，关键运用于真空密封性功能规定，但没有压工作中的产品，如室内空间主题活动构件、液氢槽罐车、环境监控系统机器设备等。

正压力法氦质谱检漏

选用正压力法测漏时，需对被检产品內部密封性室充进高过一个大气压强的氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气便会埋孔漏孔进到被检外表面的周边环境空气中，再选用吸枪的方法检验被检产品周边环境空气中的氦气浓度值增加量，进而完成被检产品泄露精确测量。依照搜集氦气方法的不一样，又可以将正压力法分成正压力吸吃鸡枪法和正压力累积法。在其中正压力吸吃鸡枪法选用测漏仪吸枪对被检产品外表面开展扫描仪探察，能够完成漏孔的精准定位; 正压力累积法选用有一定密闭式作用的氦罩将被检产品所有 罩起來，选用测漏仪吸枪精确测量一定时间范围前后左右的氦罩内氦气浓度值变化量，完成被检产品总漏率的精准测量。

正压力法的特点是不用輔助的真空系统软件，能够 精准定位，完成一切压力下的检验。

正压力法的不足之处是检验敏感度较低，检验結果测量不确定度大，受精确测量自然环境标准危害大。

正压力法的质量标准具体有QJ3089-1999《氦质谱正压检漏方法》、QJ2862-1996《压力容器焊缝氦质谱吸枪罩盒检漏试验方法》，关键运用于大容量髙压密封器皿产品的测漏，如髙压氦气瓶、机舱门测漏仪等。

真空工作压力法氦质谱检漏

选用真空工作压力法测漏时，必须 将被检产品总体放进真空密封性房间内，真空密封性室与輔助抽时间系统软件和测漏仪相接，被检产品的打气插口根据联接管路引出来真空密封性室后，再与氦气源相接，当被检产品表面有漏孔时，氦气便会根据漏孔进到真空密封性室，再进到氦质谱检漏仪，进而完成被检产品总漏率的精确测量。

真空工作压力法的特点是检验敏感度高，能完成一切压力的漏率检验，体现被检件的真正泄露情况。

真空工作压力法的不足之处是测漏系统软件繁杂，必须 依据被检产品的体积和外形设计方案真空密封性室。这儿必须表明在测漏全过程规定保证打气管路插口无渗漏，或是采用独特的设计将全部打气管路联接插口置放在真空密封性室外界。

真空工作压力法的测试标准有GB /T 15823-2009《氦泄漏检验》，关键运用于构造简易、工作压力并不是非常高的密封性产品，如继电器、髙压打气管路、火箭燃料贮箱、无线天线、应答机、整星产品等。

背压式法氦质谱检漏

选用背压式法测漏时，**将被检产品放置髙压的氦气室中，泡浸数钟头或数日，假如被检产品表面有漏孔，氦气便根据漏孔压进被检产品內部密封性腔中，使內部密封性腔中氦分工作压力升高。随后取下被检产品，将表面的残留氦气吹除后再将被检产品放进与测漏仪相接的真空器皿内，被检产品內部密封性腔内的氦气会根据漏孔泄露到真空器皿，再进到氦质谱检漏仪，进而完成被检产品总漏率精确测量。测漏仪得出的漏率数值精确测量漏率，必须根据公式换算测算出被检产品的等效电路规范漏率。

背压式法的特点是检验敏感度高，能完成中小型密封性器皿产品的渗漏检验，能够实现大批量化检验。

背压式法的不足之处是无法开展大中型密封性器皿的漏，不然因为密封性内腔容量很大，造成 充压時间过长。除此之外，每一个精确测量漏率都相匹配2个等效电路规范漏率，在细检进行后还必须 使用其他方式开展粗检，清除大漏的很有可能。

背压式法的测漏规范具体有QJ3212-2005《氦质谱背压检漏方法》、GJB360A-1996《电子及电气元件试验方法方法112 密封试验》，关键运用于各种各样电子元件产品测。