氦质谱检漏仪是以氨气作为示漏气体，对真空设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便检测迅速等特点是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器其测量工作原理如下。

氦质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计，用氨气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、质量分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子。

质量分析器是一个均匀的磁场空间不同离子的质荷比不同在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离在设计时只让氨离子飞出分析器的缝隙打在收集器上。收集放大器收集氨离子流并送入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。

近年来，随着高真空检漏技术科学领域的不断发展和应用技术的日趋成熟，以及高真空检漏仪器技术的不断创新和进步仪器更新换代很快。从技术性能、高可靠性、准确性、耐用性、灵活性和性价比等各方面都有着划时代的进步，从而使高真空检漏仪器从科学研究领域、实验室的应用逐渐普及到工业和民用领域的应用。

氦质谱检漏技术是在真空检漏技术领域里应用广泛的一种，这种检漏方法的优点是：检漏灵敏度高（可以检漏到10-12Pa·m3/s数量级）、仪器响应快、操作简便、成本较低、用途广泛等，所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用。

氦质谱检漏仪技术在真空检漏领域里不仅能定位、定性、定量检漏，且具有操作简便、准确可靠、成本较低、用途广泛等特点。采用这种检漏技术无论从小件到大件从小系统到大系统检漏从确定漏孔检漏到确定漏率检漏，都能准确快捷有效。随着氦质谱检漏技术的不断发展和成熟，未来将逐渐渗透到各个高低端行业领域应用前景广阔因此值得推广应用。