① 抽屉式结构,两箱联动
② 一箱多检,设备具备自动巡检每个工件功能
③ 高端配置稳定可靠,设备布局简洁严谨
④ 氦回收率达98%,节省运行成本
漏率:1.0×10-8Pa m3/s
氦检压力:0-0.17Mpa
节拍:45S/箱
箱门开关方式:抽屉式
控制方式:PLC 控制,触摸屏操作
① 抽屉式结构,两箱联动
② 一箱多检,设备具备自动巡检每个工件功能
③ 高端配置稳定可靠,设备布局简洁严谨
④ 氦回收率达98%,节省运行成本
漏率:1.0×10-8Pa m3/s
氦检压力:0-0.17Mpa
节拍:45S/箱
箱门开关方式:抽屉式
控制方式:PLC 控制,触摸屏操作