① 一箱多检，设备具备自动巡检每个工件功能

② 大箱多检，小箱单检或复检

③ 储存数据及MES 对接使用

漏率：1.0×10-6 Pa m3/s

氦检压力：0-0.5Mpa

节拍：50-70S/箱

箱门开关方式：直拉式

控制方式：PLC控制，触摸屏操作