主要技术指标                                    Main specification

最低可检漏率超精简模式                   5 x 10^-12 mbarl/s

最低可检漏率精简模式                      1 x 10^-11 mbarl/s

最低可检漏率粗检模式                       1 x 10^-9 mbarl/s

最低可检漏率吸枪模式                       1 x 10^-7 mbarl/s

反应时间                                           <l sec

气体传感器                                        180°磁偏转质谱选择器

启动时间                                            <3 min

电源电压/接口                                    SPS-兼容(最大35 V)