主要技术指标                                        Main specification

最小可检漏率(真空模式)                        5X10-13 Pa.m³/s

最小可检漏率(吸枪模式)                        5X10-10Pa.m³/s

检测气体                                               4He, 3He, H2

启动时间                                               3 min

对氦气的抽气速度                                 2.5L/S

进气口压力                                           25hPa

前级泵抽速                                           油泵 15 m³/h