大家都知道气分子内部结构稳定，化学性质并不活泼并且密度较小，由于这些特性氦气不会爆炸，也不容易和其他物质发生反应。因为这些性质，所以氦气经常被用来检漏。

22.jpg 其实任何可以感测气体分压之质谱仪，均可以作为真空系统漏气之侦测,通常为分子量较轻的气体，氦气最容易渗透漏孔， 最简单的质谱测漏仪，多将质普分析器固定在特定质量，通常为氦气的质量，以氦气为漏气体在欲侦测处到处喷氦气，观察质普是否改变，来办别是否有漏气，这是氦气检漏的原理。