规格型号                                             PHOENIX QuadrO TRIVAC D2.5E

真空模式最小可检测的氦泄漏率            5x10^-12mbar.L/S

响应时间                                             <1s

最大入口压力                                       15 mbar

抽氦速度ULTRA                                    >3.1 L/S

可检测的气体                                       4He、H2、质量数3

吸枪模式最小可检测的氦泄漏率             1x10^-8smbar .L/S

吸枪SL300的气流量                              20-25 sccm

测量范围                                              12个数量级

启动时间                                              110 s

离子源                                                  双灯丝