① 罐体、与工件相连的管道均采用304不锈钢材质制造

② 进入工件前的管道配有过滤装置

③ 设备具有真空箱扩容功能

④ 具有生产统计功能

漏率：1.0×10-6Pa m3/s

氦检压力：0-10bar

节拍：≤4min/箱

箱门开关方式：垂直提拉式

控制方式：PLC 控制，触摸屏操作